高速高精度
大扭矩
低温漂
结构紧凑
防尘抗干扰
易于安装
高效散热系统
激光标刻
切割
激光调阻
快速成型
激光成像
科研
|
型号
|
SS9316M
|
|
输入光斑直径( mm)
|
12
|
14
|
|
最大扫描角度
|
±20°
|
|
可承受最大激光功率（W）
|
Nd:YAG@1064 nm
|
150
|
150
|
|
CO2
|
100
|
100
|
|
小信号阶跃响应时间（1）（ms）
|
0.3
|
|
标刻速度(2)（m/s）
|
3
|
3
|
|
定位速度(2)（m/s）
|
12
|
12
|
|
标记速度(3)（cps）
|
好质量
|
650
|
600
|
|
高质量
|
450
|
400
|
|
零点漂移(μRad./℃)
|
<15
|
|
比例漂移( ppm/℃)
|
<50
|
|
长时间连续工作漂移，8小时以上( mrad.)
|
<0.5
|
|
线性度（4）
|
≥99.90%
|
|
重复精度（μRad.）
|
<8
|
|
最大平均工作电流(A/单轴)
|
3.5
|
|
峰值电流(A)
|
25
|
|
输入位置信号范围
|
DC±5V, ±10V（模拟电压信号）
|
|
输入电源
|
±24 VDC，Max. 3.5A/轴
|
|
工作环境温度
|
25℃±10℃
|
|
重量(kg)
|
1.5
|
|
主要应用领域
|
激光标刻
切割
激光调阻
科研
|
|
- 所有角度均为机械角。
|
|
- 所有参数为上电1分钟以后测得。
|
|
（1）配该型号电机所能带载的最小Y轴镜片，响应至满幅度的1%；
|
|
（2）使用焦距F=160mm透镜测得；
|
|
（3）透镜F=160mm，标刻由字母和数字组成的1mm高的单线字；
|
|
（4）指在±20°光学角范围内的线性度；
|