高速高精度
结构紧凑
防尘抗干扰
易于安装
高效散热系统
激光标刻
激光焊接
切割
钻孔
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型号
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S-9320M
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输入光斑直径( mm)
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15
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20
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最大扫描角度
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±12.5°
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可承受最大激光功率（W）
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Nd:YAG@1064 nm
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200
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300
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CO2
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150
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200
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小信号阶跃响应时间（1）（ms）
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0.4
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标刻速度(2)（m/s）
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3
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3
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定位速度(2)（m/s）
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10
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8
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标记速度(3)（cps）
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好质量
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600
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500
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高质量
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450
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360
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零点漂移(μRad./℃)
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<15
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比例漂移( ppm/℃)
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<50
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长时间连续工作漂移，8小时以上( mrad.)
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<0.5
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线性度（4）
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≥99.90%
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重复精度（μRad.）
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<8
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最大平均工作电流(A/单轴)
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4
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峰值电流(A)
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20
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输入位置信号范围
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DC±5V, ±10V（analog signal）
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输入电源
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±24 VDC，Max. 3.5A/axis
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工作环境温度
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25℃±10℃
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重量(kg)
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1.5
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主要应用领域
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激光标刻
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激光焊接
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切割
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钻孔
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- 所有角度均为机械角。
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- 所有参数为上电1分钟以后测得。
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（1）配该型号电机所能带载的最小Y轴镜片，响应至满幅度的1%；
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（2）使用焦距F=160mm透镜测得；
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（3）透镜F=160mm，标刻由字母和数字组成的1mm高的单线字；
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（4）指在±20°光学角范围内的线性度；
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